汉诺威团队研发投影光刻新方法,几秒甚至数百毫秒就能造出二维微纳器件 阮经天我们偶尔见光学精密制造技术对于生产小型化集成化的光学光子器件是必不可少的在实验室中目前可以通过激光直写双光子光刻电子束离子束光刻等技术来制备高精度微纳米元器件但是相应的加工系统通常非常昂贵且加工...